연구

연구장비

교육용 공용 실습실

  • 102동 4층 소재, 108㎡ 의 공용 실습실을 구성
  • 자기주도적 반도체 실습 및 다양한 교육 전용 실습 제공
  • 전문 엔지니어의 관리하에 확장 중

UNIST 나노팹 현황

2009 세미 클린룸설립 / 2016 양산 Fab Lv. 의 클린룸구축

  • 약 100억원, 200억원 시설 및 장비 투자
  • 100 Class / 1,100㎡/ Super Clean Room 보유
  • 평균 경력 10년 이상의 정규직 전문 인력 6명 보유
    1. 1) 연간 약 20,000건 공정장비 활용 지원 서비스 수행
    2. 2) 2021 국가나노인프라협의체(KION) 가입
    3. 3) 보유 장비 50개 이상, 장비 가동률 49.8%, 2023년 65% 달성 예정

※ 대학팹은 UNIST 포함 국내 4곳

  • · Smock Room
  • · Corridor
  • · Wet Station
  • · Yellow Room
  • · E-bram litho Room
  • · White Room #1
  • · White Room #2
  • · White Room #3
  • · Diffusion Room

소재분석 클린룸

지역연계 나노 인프라 네트워크 활용

  • 공백 장비 활용 소자 개발
  • UNIST-나노종합 / 융합기술원-대구경북과학기술원 공동협력 MOU 체결