연구
연구장비
교육용 공용 실습실
- 102동 4층 소재, 108㎡ 의 공용 실습실을 구성
- 자기주도적 반도체 실습 및 다양한 교육 전용 실습 제공
- 전문 엔지니어의 관리하에 확장 중
UNIST 나노팹 현황
2009 세미 클린룸설립 / 2016 양산 Fab Lv. 의 클린룸구축
- 약 100억원, 200억원 시설 및 장비 투자
- 100 Class / 1,100㎡/ Super Clean Room 보유
- 평균 경력 10년 이상의 정규직 전문 인력 6명 보유
- 1) 연간 약 20,000건 공정장비 활용 지원 서비스 수행
- 2) 2021 국가나노인프라협의체(KION) 가입
- 3) 보유 장비 50개 이상, 장비 가동률 49.8%, 2023년 65% 달성 예정
※ 대학팹은 UNIST 포함 국내 4곳
- · Smock Room
- · Corridor
- · Wet Station
- · Yellow Room
- · E-bram litho Room
- · White Room #1
- · White Room #2
- · White Room #3
- · Diffusion Room
소재분석 클린룸
지역연계 나노 인프라 네트워크 활용
- 공백 장비 활용 소자 개발
- UNIST-나노종합 / 융합기술원-대구경북과학기술원 공동협력 MOU 체결