연구
연구
연구장비
교육용 공용 실습실
- 251동 506호 공용 실험실, 503호 공용 분석실 구성
- 자기주도적 반도체 실습 및 다양한 교육 전용 실습 제공
- 전문 엔지니어의 관리하에 운영 중
UNIST 나노팹 현황
· 2009 세미 클린룸설립 / 2016 양산 Fab Lv. 의 클린룸구축
- - 약 100억원, 200억원 시설 및 장비 투자
- - 100 Class / 1,100㎡/ Super Clean Room 보유
- - 평균 경력 10년 이상의 정규직 전문 인력 6명 보유
- 1) 연간 약 20,000건 공정장비 활용 지원 서비스 수행
- 2) 2021 국가나노인프라협의체(KION) 가입
- 3) 보유 장비 50개 이상, 장비 가동률 49.8%, 2023년 65% 달성 예정
대학팹은 UNIST 포함 국내 4곳
· Smock Room
· Corridor
· Wet Station
· Yellow Room
· E-beam litho Room
· White Room #1
· White Room #2
· White Room #3
· Diffusion Room
